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●型番:CF152K
●圧力条件:内部/真空、外部/大気圧
●温度条件:20℃(ベーキング時最大250℃)
●材質:ベローズ/ステンレス(SUS316L)、フランジ/ステンレス(SUS304L)
●リーク量:1×10^-9Pa・m3/s以下
●繰り返し寿命:1万回
●フランジ形状:固定×回転フランジ通し穴
●
●サイズ表(単位:mm)
●▼Bi:90.1
●▼Bo:107
●▼L:65.4
●▼D:151.6
●▼T:19.8
●▼C:130.3
●▼取付穴:16-8.5
●▼Lの動作範囲:92~118
●バネ定数(N/mm):9.7
●有効面積(cm2):76.3