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特徴

●各種真空装置に用いられる油回転真空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置です。●使用しているエレメントは、水分・酸・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。●本装置を使用することにより、真空ポンプの故障・オイル交換の低減を計ることが可能になります。●真空乾燥・真空凍結乾燥装置●真空蒸着装置●真空スパッター装置●各種CVD装置●化学、薬品、医療、食品装置●真空熱処理装置●真空溶解炉●イオン注入装置●外形寸法(mm):175(W)×245(L)×459(H)●電源:単相100V●電源:単相100V●外形寸法(mm):175(W)×245(L)×459(H)●ろ過流量50/60Hz(L/min):0.6/0.72●水分除去量(cc):300●酸中和量:0.4mol/エレメント●パーティクル除去精度(μm):0.1●所要油量(L):約1●真空ポンプの型式によって接続できない機種があります。●機種によって別売りのアダプターが必要になります。●油は、別途ご購入下さい。

仕様