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流量計マスフローコントローラー 1SLM-N2 (1個)(C1005) 取り寄せ商品

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熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。

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マスフローコントローラー 1SLM-N2 (1個)。熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。フルスケール流量：1SLM-N2ガス種類：N2流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）応答性：6sec流量制御範囲：5～100％FS入出力：アナログ信号（0～5VDC）バルブ形式：N/Oノーマルオープン再現性：±0.2％FS動作圧力範囲：50～300kPa耐圧：1MPa（G）外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec（He）以下接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム接続：1/4in.SWL相当電源：＋15VDC±5％　60mA、－15VDC±5％　150mA通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）サイズ：127×25.5×100mm。
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