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●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。
●加圧圧力は150kPaです。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。
●到達圧力(Pa):39.9×10[[の3乗]]
●吸気口径(mm):9
●電源(V):単相100
●全幅(mm):115
●全長(mm):178.5
●全高(mm):153.5
●加圧圧力(kPa):150
●電源コード長さ(m):2
●減圧・加圧両用
●加圧圧力:150kPa
●1段排気方式
●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa):0.15
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用