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(※メーカー直送の場合は、PDFデータをメールさせて頂きます。)
注意事項※商品名に【2個セット】等、数量の明記がない場合は1個での販売となります。
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
排気速度(L/min)50/60Hz:6/7
到達圧力(Pa):6.65×10[[の3乗]]
吸気口径(mm):Rc1/8
電源(V):単相200
全幅(mm):91
全長(mm):163
全高(mm):100.6
一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)
低速低圧用
ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。
ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。